沃尔特电子(苏州)有限公司

小型、轻量、高动力的致动器搭载自动阀，阀体使用SUS316L不锈钢。与以往产品相比，执行器负荷大幅提高。自动开 关部也实现了进一步的小型化和轻量化。另外，在所有环境下都能安心使用的无油结构。

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【适用气体】

腐蚀性，毒性，易燃，超高纯气体（半导体）：NF3、SiH4、BF3、 SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高纯气体及混合气体。

【特征 1】 成功削减约60%的死角空间，清洁性能，耐腐蚀性更出众

① 气体很难在阀体内滞留，阀的主件不会受到功能损坏或腐蚀。

② 可保证气体纯度，对半导体品质的影响降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.4∽0.6

① 适用于液化气的大流量阀门，也可用于压缩气体。是划时代的产品！

② 进出口螺纹及形式由客户指定的规格标准生产。

【特征 3】 采用特殊的平垫片

 ① 可减轻因扭力过大导致的垫片变形。

参数：