沃尔特电子(苏州)有限公司

阀体采用SUS316L不锈钢，高纯度气体用隔膜阀门的标准机型。采用有实际成果的55L型构造，可以对应多种特殊高压气体。轻快顺畅的手轮操作。搭载了防止手柄松动的功能。

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【适用气体】

腐蚀性，毒性，易燃，高纯气体（半导体）：NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高纯气体及混合气体。

【特征 1】清洁性能，耐腐蚀性更出众

①气体很难在阀体内滞留，阀的主件不会受到功能损坏或腐蚀。

②可保证气体纯度，对半导体品质的影响降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.35

①适用于液化气的一般流量阀门，也可用于压缩气体。

②进出口螺纹及形式由客户指定的规格标准生产。

【特征 3】 采用特殊的平垫片

 可减轻因扭力过大导致的垫片变形。

参数：