沃尔特电子(苏州)有限公司

采用简单结构，对应高纯度气体，隔膜型经济 型。阀体使用SUS316L不锈钢，对应高纯度气体。充填 口除了JIS、CGA等各种规格外，还可支持洁净型规格。

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SUS-55L型不锈钢制隔膜阀

【适用气体】

腐蚀性，毒性，易燃，高纯气体（半导体）：NF3、SiH4、BF3、SF6、Cl2、NH3、N2O、HCl、B2H6、CH3F、WF6等超高纯气体及混合气体。

【特征 1】 清洁性能，耐腐蚀性更出众

①气体很难在阀体内滞留，阀的主件不会受到功能损坏或腐蚀。

②可保证气体纯度，对半导体品质的影响降低到最低限度。

【特征 2】 Cv值0.35

①适用于液化气的一般流量阀门，也可用于压缩气体。

②进出口螺纹及形式由客户指定的规格标准生产。

【特征 3】 采用特殊的平垫片

 可减轻因扭力过大导致的垫片变形。

参数：